微電子潔凈室靜電防控系統(tǒng) 潔凈室除靜電加濕器：靜電在工業(yè)生產(chǎn)中產(chǎn)生是難免的事情，因為工業(yè)生產(chǎn)存在摩擦、接觸、分離等產(chǎn)生靜電的一切條件，只要空氣干燥那么靜電電荷就會因為這些條件不斷出現(xiàn)，累積下來就會成為靜電。哪怕是在潔凈室里面，靜電該出現(xiàn)還是會出現(xiàn)的，而且潔凈室里面出現(xiàn)靜電就會不斷的吸附灰塵，導(dǎo)致潔凈室的灰塵顆粒增多，這樣就會降低潔凈室的潔凈度，會對產(chǎn)品質(zhì)量、生產(chǎn)效率造成很大的影響。
潔凈室，也就是我們通常說的無塵車間、潔凈車間，在很多行業(yè)被廣泛使用，對于微電子工業(yè)來說更加重要，由于微電子的精密度越來越高，一點點的靜電跟灰塵影響都會導(dǎo)致產(chǎn)品質(zhì)量下降，甚至是報廢。比如灰塵會降低微電子的絕緣性能，靜電放電會擊毀擊傷微電子，提高廢品率，導(dǎo)致成本增加，因此潔凈室也需要做好防靜電方面的工作。
這個需要從三個方面來防范靜電，首先就是在建造的時候就需要考慮到靜電的問題，因此需要選擇使用防靜電地板，對潔凈室隔斷、墻壁及潔凈的結(jié)構(gòu)系統(tǒng)等都考慮在內(nèi)，還需要采用噴涂靜電涂料、防靜電噴劑等來作為輔助措施或補救方法來克服靜電，使?jié)崈羰也划a(chǎn)生或少產(chǎn)生靜電電荷。
其次就是生產(chǎn)設(shè)備、運輸工具還有操作員工都需要做好防靜電的工作：員工需要穿戴防靜電服、防靜電鞋、防靜電手環(huán)，不能讓人體靜電對微電子產(chǎn)品造成破壞；然后就是生產(chǎn)設(shè)備需要安裝接地來導(dǎo)走靜電，或者是安裝除靜電離子風(fēng)槍來消除機器設(shè)備上的靜電，同時要記住運輸周轉(zhuǎn)中的工具如小車，箱子也應(yīng)采用防靜電的產(chǎn)品。
最后非常重要的一點就是控制好潔凈室的溫濕度：溫度23℃，空氣濕度在55±5%RH之間是可以很好的消除物體表面的靜電電荷，比如傳送帶、產(chǎn)品表面，這些地方的靜電電荷是其他方法不能防范的，可以通過控制空氣濕度不讓潔凈室干燥的方法來防范消除，所以潔凈室需要配置ZS-F5400Z系列除靜電加濕器來控濕防靜電。
ZS-F5400Z系列除靜電加濕器采用超聲波振蕩將水霧化成1-10微米的霧氣顆粒，霧氣顆粒被風(fēng)機吹到空氣中迅速氣化就可以提高空氣濕度了，微電腦可以根據(jù)輸入的空氣濕度值自動加濕自動工作，無須專人照看，操作簡單方便，加濕速度快，霧化顆粒細，干霧不會打濕生產(chǎn)設(shè)備跟產(chǎn)品，用于微電子潔凈室可以很好的防范靜電。
